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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱: 熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU5000
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品時(shí)間: 2023-11-21
熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU5000
創(chuàng)新的“EM Wizard"界面更加直觀,僅需要“點(diǎn)擊"即可得到圖像。
超前的電腦輔助技術(shù)將電鏡的操作與控制提升到一個(gè)新水平。

產(chǎn)品介紹

熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU5000

高性能電子光學(xué)系統(tǒng)

二次電子分辨率: 頂位二次電子探測(cè)器(2.0 nm at 1kV)*

高靈敏度: 高效PD-BSD, 低加速電壓性能,低至100 V成像

大束流(>200 nA): 便于高效微區(qū)分析

性能優(yōu)異

壓力可變: 具有優(yōu)異的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配備高靈敏度低真空探測(cè)器(UVD)*

開倉室快速簡單換樣(最大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)

熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU5000


項(xiàng)目

內(nèi)容

分辨率

1.2 nm @ 30 kV
  3.0 nm @ 1 kV
  2.0 nm @ 1 kV
減速模式*1
  3.0 nm @ 15 kV
低真空模式*2

放大倍率

10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
  30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)

電子光學(xué)系統(tǒng)

電子槍

ZrO /W 肖特基式電子槍

加速電壓

0.5 - 30 kV   (0.1 kV 步進(jìn))

著陸電壓

減速模式: 0.1 - 2.0 kV *1

最大束流

> 200 nA

探測(cè)器

低位二次電子探測(cè)器

低真空模式*2

真空范圍: 10 - 300 Pa

馬達(dá)臺(tái)

馬達(dá)臺(tái)控制

5 - 軸自動(dòng) (優(yōu)中心)

可動(dòng)范圍

X:0~100mm
  Y:0~50mm
  Z:3~65mm
  T:-20~90°
  R:360°

最大樣品尺寸

最大直徑: 200 mm
  最大高度: 80 mm

選配探測(cè)器

·           高分辨率頂位二次電子探測(cè)器*1

·           高靈敏度低真空探測(cè)器 (UVD)

·           5分割半導(dǎo)體探測(cè)器 (PD-BSD)*3

·           能譜儀 (EDS)

·           波譜儀 (WDS)

·           背散射電子衍射探測(cè)器 (EBSD)

 

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